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  • 1100°C双管滑动快速加热冷却炉

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1100°C双管滑动快速加热冷却炉

简要描述:产品概述∶
OTF-1200X-4-80-100-4CLV-SL双管炉是一个特殊的双管CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是在新—代能源研究中,应用于柔性金属箔电极方面的研究。本设备可通过滑动炉子实现快速加热和冷却,同时根据用户的需求提供单温区或双温区两种配置的炉膛。

  • 产品型号:OTF-1200X-4-80-100-4CLV-S
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2021-05-11
  • 访  问  量:37

产品介绍

品牌合肥科晶产地类别国产
应用领域医疗卫生,环保,化工,生物产业,石油
产品名称1100°C双管滑动快速加热冷却炉
主要特点

双石英管∶外管直径100mn,悬挂的内管直径80mm,金属箔缠绕在内管的外表面上发生cvD反应。(见下图)

两根炉管上安装有真空密封法兰,允许反应气体在两个管(10mm间距)之间流动,情性气体在管内流动以进行冷却。

· 搭载由多通道流量控制系统和真空泵共同组成的CVD系统。

炉子的底部安装有一对滑轨,可使炉子从炉管的一侧滑动到另一侧,以实现快速加热和快速冷却。

·包含一个止滑夹,用于固定炉子的位置。

·最高温度可达1100℃。

双层壳体结构,并带有风冷系统,可有效降低壳体表面温度。

· 内炉膛表面涂有姜国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。

开门断电,提高实验安全性。

基本参数

最高温度∶ 1100℃(≤30min) 工作温度∶ 1000℃

推荐升温速率∶≤10℃/min

加热元件∶掺参钼铁铬铝合金

·电压∶220

可根据需求选择单温区或双温区两种炉膛。(双温区见下图)

加热炉额定功率∶3KW(不包括CVD系统)

加热区∶400mm (单温区),200mm*2(双温区)

炉管及滑轨

高纯石英管80mm外径x 1800mm长

高纯石英管100mm外径x 1400mm长

镀铬钢制成的双滑轨

真空法兰

不锈钢真空法兰安装在炉管的两端,便于组装

多通道质子流量计控制系统

适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。

气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。

采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作。

所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。

多通道质子流量计系统参数∶

输入电压∶ AC 2207/5OHz单相

功率∶23w

产品二通道三通道四通道五通道
工作温度5-45℃5-45℃5-45℃5-45℃
最大压力3*10~6 Pa3*10~6 Pa3*10~6 Pa3*10~6 Pa
精度±1.5% FS±1.5% FS±1.5% FS±1.5% FS
重复精度±0.2%FS±0.2%FS±0.2%FS±0.2%FS
流量范围

一路:

1-199 scm

二路:

1-199 scm

一路:

0-100 scm

二路:

1-199 scm

三路:

1-499SCCM

一路:

0-100 scm

二路:

1-199 scm

三路:

1-199SCCM

四路:

1-499sccm

一路:

0-100 scm

二路:

1-199 scm

三路:

1-199SCCM

四路:

1-499sccm

注意其他流量范围的可定制(0~100、1~200、1-500、1-1000、1-2000、1-5000sccm),需额外费用五一九路可按照客户要求定制

真空系统

此设备可根据需求配置合适的真空泵组

·GZK-101低真空机组∶

·工作电电压∶220v,50~60HZ

· 功率∶ 1KW

·系统极限真空度∶1.0*10-1Pa

·抽气速率∶ 4.4L/ S

 

*103G高真空机组:

产品国产分子泵爱德华分子泵
抽气速率

·N2   33 L/s

.He    39 L/s

.H2   32 L/s

.N2     42L/s

.He      49L/s

.H2        45L/s

系统极限真空度<1E-4 Pa (配和本公司管式炉使用可达到1E-2Pa)<1E-6 Pa (配和本公司管式炉使用可达到1E-4Pa)
分子泵组成RVP-4机械泵和F-100/110分子泵隔膜泵和斡旋分子泵
使用电压和功率电压∶200~240v输出功率∶ 150w电压∶ 185-265v输出功率∶100v
移动壳体尺寸:600 L)x600(w)x750(H)mm600(L)x600(w))x750(H)mm

 

温控系统

 

采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序

温控仪表中带有过热和断偶保护

仪表控温精度∶ +/- 1°C

热电偶型号∶ K型

开门断电

为保证使用安全该电炉为开门断电设计

认证

 

所有电气部件均为UL认证,并可通过TV、CSA认证

CE certified

质保

一年保修,终身技术支持。

特别提示∶ 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

 

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