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  • 1200°C三温区三通道混气CVD系统

1200°C三温区三通道混气CVD系统

简要描述:1200°C三温区三通道混气CVD系统是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,它是由管式炉,三路浮子流量供气系统组成,其真空度可达到10-2torr。

  • 产品型号:OTF-1200X-80-III-F3LV
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2021-05-07
  • 访  问  量:37

产品介绍

品牌合肥科晶产地类别国产
应用领域医疗卫生,环保,化工,生物产业,农业
壳体结构
功率5KW
电压

AC 208-240V单相,50/60Hz

加热元件Fe-Cr-A1 Alloy doped by Mo
最高工作温度1200°C
连续工作温度1100°C
最大加热速率

<=20°C/min

石英管&密封法兰
加热区长度

*三个温区长度:(880mm,35“in total)

*温区1:220mm(8.6“)

*温区2:440mm(17.3“)

温区3:220mm(8.6“)注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为改设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

温控系统
控温精度+/-1°C
真空密封系统
真空泵

采用双旋机械泵,机械泵上安装有进口的油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米

数字式真空显示计
气体流量计和压力表
阀门四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上,用于控制气体的流量
外形尺寸

炉子:1100*450*670mm

底部移动架:600*600*597mm

开门断电
净重约90Kg
运输重量

2451bs

质保期一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件
质量认证CE认证

 

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