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  • 双炉体滑动PECVD系统、循环手套

双炉体滑动PECVD系统、循环手套

简要描述:双炉体滑动PECVD系统&循环手套是一款双炉体滑动的PECVD系统,并目连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接,允许客户用CVD方法把样品制作好以后,直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式,可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新—代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。

  • 产品型号:OTF-1200X-PESDFG-5
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2021-03-30
  • 访  问  量:38

产品介绍

品牌合肥科晶产地类别国产
应用领域医疗卫生,环保,化工,生物产业,农业
炉体结构

两个炉体在一个滑轨上面,和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果

连续工作温度∶1100℃ 

两个炉体都可以设置30段升降温程序

等离子体射频电源

输出频率∶13.56 MHz ±0.005% 

射频顶值功率∶ 500W

匹配∶ 自动匹配

噪音∶<50 dB.

冷却∶空气冷却

输入电源∶208-240VAC, 单相, 50/60Hz

真空系统

采用vRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr 

KFD25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连

管内真空可达10E-2 Torr

质量流量计混气系统

四个精密的质量流量计(精度1.5%)∶ 数字显示,自动控制. 

MFC1范围∶ 0~100 sccm

MFC2和3∶ 0~200 sccm 

MFC4范围∶ 0~500 sccm

一个混气罐,底部装有泄废液口. 

4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体.

进气口∶4个1/4NPS.

出气口∶4个 1/4NPps. 

采用PLc控制流量计,通过触摸屏进行控制

可选购气液混合装置,用于cvD系统

炉管&密封法兰

高纯石英管,尺寸50毫米 O.D x  44毫米 I.D  x  1800 毫米 L

配有一套不锈钢密封法兰,并且上面安装有真空计

防腐型真空计

输入电源 24v,1A DC(配有一电压转换器)

测量范围 3.8x10-5 --1125 Torr. 

数据显示 数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr

接头 KF16 接头 

产品尺寸46mm×28mm×126mm(长x宽x高)

循环手套箱

手套箱尺寸∶ 780mm(L)x700mm(W)×650mm(H)

带有除水系统∶保持水含量<2 ppm 

-真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管相连接

质保期一年质保期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)
质量认证

CE认证

所有电器元件(输入电话员<24V)都通过连UL/MET/CSA认证

 

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