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  • 5英寸近距离蒸发镀膜炉

5英寸近距离蒸发镀膜炉

简要描述:5英寸近距离蒸发镀膜炉是一款快速热处理炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门实际针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其镀膜面积可达到5“x5“。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),升温速率为 20°C/s。

  • 产品型号:OTF-1200X-RTP-II-5
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2021-03-23
  • 访  问  量:34

产品介绍

品牌合肥科晶产地类别国产
应用领域医疗卫生,环保,化工,生物产业,农业

产品参数

炉体结构和真空腔体采用两个温度控制器,分别控制顶部和底部两组加热元件。安装有浮子流量计,可向真空腔体中通入气体 真空腔体为一高纯的石英管,其尺寸为∶ 11" OD10.8 Dx9 Hmm
真空法兰真空法兰为316不锈钢制作 顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个14"软管接头的出气口底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个14"软管接头的进气口法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,用机械泵其腔体内真空度可达10²tr,用分子泵其腔体内真空度可达10-tor.
加热元件和载样台由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节,调节范围为∶2-50mm 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率,加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中,(不锈钢壳体采用316不锈钢制作) 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片(5"×5×0.5mm厚度)作为载样台,以达到较好的加热均匀性底部载样台上可放入5"x5"的石墨坩埚来盛放蒸发原料此款仪器使用时需要配用一循环水冷机(16L/m)
温控系统两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区,可设置30段升降温程序每个温控系统都带有超温和断偶保护 FC通讯接口,软件可安装,可将控温程序和温度曲线导入到电脑中
工作温度工作温度为∶800℃两个加热区之间的温差顶值为300℃
加热和冷却速率加热速率> 8℃s(每个温区单独加热)冷却速率> 10℃/s (600.100°C)
热电偶两个K型热电偶,安装在顶部和底部,都与氮化铝陶瓷片相接触
工作电压208-240VAC,单相,(需要20A的空气开关)
功率3000w
可选实验时需要一个真空泵,可与本公司选购真空泵采用机械泵可使腔体内的真空度达到k=10E-2 torr若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境,可换购无油泵 也可选购质子流里计混气系统,将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中
质保一年质保期,终生维护(不包括密封圈、加热元件和石英管)
使用注意事项炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加准确安全 挡炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于002MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

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