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  • 带有预热系统的滑动PECVD

带有预热系统的滑动PECVD

简要描述:OTF-1200X-50-I-4CV-PE-MSL是一款双温区的PE-CVD管式炉系统,组成部分为500W的射频发生器、滑动速度可控的双温区滑轨炉,预热炉(作用为使固体原料蒸发)和德国进口的无油泵。此款PE-CVD对于生长纳米线或用CVD,方法来制作各种薄膜是一款新的探索工具。

  • 产品型号:OTF-1200X-50-II-P
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2021-03-09
  • 访  问  量:69

产品介绍

品牌深圳科晶产地类别国产
应用领域医疗卫生,化工,生物产业,石油
特点

与普通CVD相比较,其沉积温度大大降低,减少了高温多薄膜损坏可以通过炉体滑动来达到快速升温 和快速障温的效果

炉体有两个温区,可在炉体内形成温度梯度,两个温区温差为400℃管式炉工作温度为1100℃

带有预热炉,温度为1100℃,气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。

双温区滑轨炉

 

连续工作温度为1100℃

炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,并且内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层,可以提高加热效率,反射率及延长仪器的使用寿命(点击文字查看详细资料)两个温控系统独立控制两个温区,都可设置30段升降温程序每个温区长度为200mm总温区长度∶ 400mm

恒温区∶200mn(两个温区设置同样的温度)注∶由于则量手段及外部环境的影响,则里结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员

两个温区温差为∶400℃炉管材料∶高纯石英管

石英管尺寸∶50mm OD x 44ID x 2200mmL所需电源∶208-240VAC单相

功率∶4KW

等离子射频发生器

输出功率∶ 5 -500W可调稳定性为∶ +/-1%

射频电源频率∶1356MH, 稳定性=0.005%

反向功率∶200W

射频电源电子输出口∶50ΩN型半导体.

阴极噪音∶<50 dB.

冷却方式∶空气冷却

输入电源∶208-240VAC,50/60Hz

预热炉

一款小型单温区管式炉,加热区为200mm

温度∶ 1100℃

可设置30段升降温程序控温仪表操作视频

气体通过等离子射频电源前,先通过预热炉

也可将固体和液体原料放在预热炉中,气化后与气体原料相混合

防腐型数显真空计
测量范围3.8x10->至 1125 Torr
当气压在10mbar以上时,可独立测量各种气体,不必做校正(包括混合气体)对于气体的压力检测具有较高的准确度和重复性信号响应时间较短(S30ms)
因为传感器上镀有防腐涂层,所以具有较好的抗腐蚀性
真空泵和阀

可以从本公司选购以下几种真空泵

如您想获得更高的真空度(<10-》tor orbeter)可选国产或进口高真空机组配有挡板阀、波纹管和卡箍等真空配件

电动滑轨可将电动滑轨安装在炉体下端,将炉体署动,以达到快速升温和快速障温的效果骨动速度∶ 0-70 mm/s(可调)
升温和降温速率

FS485接口和控温软件可安装在炉体内,将控温程序和温度曲线导入电脑中(仪器中不包含,客户需额外出费用 在本公司购买)

为了获得的升温速率,可将炉体升温到设定温度,然后将炉体滑到样品盛放位置

加热速率

冷却速率

15°C/sec (000-950℃C); 15°℃C/sec(RT-150°℃C)

10-C/sec(950℃.900℃C); 10℃C/sec(150℃-250°C); 7C/sec(250℃C.350℃C);

7C/sec(900℃C-850°℃); 4℃C/sec(850℃-750℃C); 4°℃C/see350℃-500°℃C);

23C/e750℃C-600°℃); 3℃C/ec350℃-550°℃C);

1.5℃C/sec (600℃C-500°℃); 2℃C/sec (550℃-650°℃);

1°C/sec (500°℃.400°℃); 1C/sec (650°C-800℃C);

0.5℃C/sec (400℃-300℃);

0.5℃C/sec (800°℃C-1000°C);

可选可以选购2-4通道质子流里计混气系统
外形尺寸

炉体∶550x380x 520 mm

滑轨长度∶ 1750 mm

净重 220 Lbs.
质保期一年质保期,终生维护(不包括炉管、密封圈和加热元件)
质量认证 CE Certified
使用注意事项
炉管内气压不可高于0.02MPa
由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购喊压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全
当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击石英管的长时间使用温度<、1100°℃C
对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于002MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

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