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  • 4路质子混气管式PECVD系统

4路质子混气管式PECVD系统

简要描述:4路质子混气管式PECVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。

  • 产品型号:OTF-1200X-50-4CLV-P
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2021-03-09
  • 访  问  量:64

产品介绍

品牌深圳科晶产地类别国产
应用领域医疗卫生,化工,生物产业,农业
实验机里辉光放电等离子体中∶ 电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10.100倍
产品特点

虽环境温度在100-300℃,但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解,离解和离化,从而大大提高了反应物的活性。因此,这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上,发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。

科晶公司提供定制的薄膜材料的实验室质量可靠、价格合理的紧凑型PECVD系统。

开启式管式炉

工作温度高达1200℃

工作温度∶1200℃

炉管尺寸∶ ④50,φ60,φ80都可用

温度控制器∶30段高精度数字可编程温度控制器加热区长度∶ 440mm

恒温区长度∶150mm注;由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员功率∶AC 220V 4KW

等离子射频电源


谕出功率∶50.-500W'

可控范围=1%

RF频率∶13.56MHz,稳定性±0.005%噪声∶≤55DB

冷却∶ 风冷
谕入功率;∶ 1KW AC 220V

真空泵和阀门

采用KF25系列波纹管和精密针阀连接真空度可达10-3torr

本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为38x10至 1125Tor.不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

质量流量计内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量气体流量范围为0-200 误差为0.02%。一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入进气口∶采用标准双卡套接头
细节图展示 
外形尺寸

炉体∶ 550*380*520mm

供气及真空系统∶ 600*600*597mm

净重∶ 120KG

开门断电为保证 使用安全,该电炉为开门断电设计
质保期一年质保期相关耗材除外,如加热元件,密封圈等易耗件
质量认证

 CE认证

所有电器元件(>24V)都通过UL /MET/CSA认证

若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

国家名称∶可组合式等离子增强化学气相沉积装置编-2011-2-035577.1尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究
使用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全

当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击石英管的长时间使用温度 <100°℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于002MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

 

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