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  • 三温区1500°C PECVD系统

三温区1500°C PECVD系统

简要描述:三温区1500°C PECVD系统 OTF-1500X-Ⅲ-4CV-PE-SL是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统,它是由500W的射频电源,1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。

  • 产品型号:OTF-1500X-III-4CV
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2021-03-09
  • 访  问  量:23

产品介绍

品牌深圳科晶产地类别国产
应用领域环保,化工,电子
三温区开启式1500°C管式炉

工作温度1500℃连续使用温度1400℃

个温区分别由三个温控系统来控制,都可设置30段升降温程序每个温区长度为200mm总温区长度为600mm炉管为高纯刚玉管

炉管尺寸∶(标配)60ODx53IDx1500mmL炉管尺寸∶(选配)800O.Dx73IDx1500mmL输入电源∶ 208-240VAC,单相功率∶ 6.6KW

配有一对不锈钢真空密封法兰,法兰上带有石英观察窗口

内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层,可以提高设备加热效率及反射率,同时延长仪器的使用寿命。

射频电源

输出功率∶5-500W±1%

射频频率∶13.56 MHz ±0.005%.

反射功率∶ 200W

匹配∶自动

射频接口∶50 Ω,N-type

噪音∶<50 dB.

冷却∶风冷

电源∶AC 208-.240V;5060Hz

 

防腐型真空计

输入电源 24V,1A DC(配有一电压转换器)

测量范围 3.8x10-5 1125 Torr.

数据显示 数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为tor接头 1/8"NPT 接头

产品尺寸 46mm×28mm×126mm(Lx WxH)

真空系统

采用TRP-12的双旋真空泵,极限真空10E.3 Torr

KFD25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连管内真空可达10E-2 Torr

质量流量计混气系统

四个精密的质量流量计(精度15%)∶数字显示,自动控制. MFC 1范围∶0~100 cm MFC 2和3∶ 0~200 sccm MFC 4范围∶0~500 scm一个混气罐,底部装有泄废液口.

4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体进气口∶4个14NPS.出气口∶4个 14NPs.

采用PLC控制流量计,通过触摸屏进行控制

温控系统

三个温区分别由三个温控系统控制采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序带有超温和断偶保护控温精度∶ +/- 1 °℃控温仪表操作视频

可选;此款设备可以安装控制模块,将温度设置和温度曲线导入到电脑

外形尺寸

炉体∶ 550x380x520 mm炉体下端移动柜∶ 1800×600×600mm净重∶ 220Lbs.运输重量∶ 1200lbs

 

质保期一年质保,终生维护
质量认证

CE认证

所有电器元件(>24V)都通过UL /MET/CSA认证

若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

 

 

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